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真空泵/真空計/真空配件
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OSAKA渦輪分子泵TG-F系列由多層轉子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉方向的關系 氣體分子從高真空側進入泵內,附著于轉子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉,分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時,從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉子葉片碰撞再次飛到下一層。
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